一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺
2023-09-27
（1）将钼粉和铌粉（纯度均为≥99 .95%，粒径分别为15μm和30μm）按照重量比为9:1的比例装入球磨机中，然后加入硬脂酸、棕榈酸和氧化锆磨球（粒径3mm），在氩气保护下进行球磨，所述的球磨时间为120min，球磨转速为1000r/min，过筛，分离得到粒径为5μm钼铌合金复合粉末；所述硬脂酸、棕榈酸和氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .01倍、0 .01倍、15倍；
（2）将钼铌合金复合粉末置于真空炉中升温至400℃热处理30min，接着进行冷等静压成型，冷等静压的压力为220MPa，保压时间为8min，得到压制毛坯；
（3）将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型，烧结温度为2100℃，烧结时间6 h，得到靶材毛坯；
（4）将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材，钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞（参见图5），平均晶粒尺寸40μm，密度9 .89g/cm3。[0028] 本发明步骤（2）钼铌合金复合粉末冷等静压之前还置于真空炉中热处理，过程控制剂的去除彻底，有利于后续冷等静压压制成型。
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